伺服电机：微米级的龙门滚珠丝杠传动，高精度的检测和校正系统

背景：目前需要做一个龙门结构的设备，利用伺服电机+THK研磨滚珠丝杠+THK直线导轨传动，运动尺寸XY分别为1米x1米左右。需要保证两根X轴的平行度、X和Y的垂直度。对X轴双驱而言，运动负载90KG左右。

项目要求运动的重复精度需要达到微米级，运动速度达到300mm/s。

（直线电机由于成本和空间的原因，被直接否决了。）

需求：不知道有没有什么高精度的检测和校正系统，需要怎么设计？

有了伺服电机，所以光栅尺定位也被否决了。一开始考虑用千分表慢慢打表，但因为跨度很大，安装的工装可能会变形。激光测距也没有使用过。

有没有大神指点指点啊？比如什么书籍推荐、供应商推荐、方法推荐之类的都行。

社友观点

最高精度等级的大理石平台，最高等级的丝杠导轨，分辨率最高的光栅尺，高分辨率的西门子伺服电机，刚性联轴器，高水平钳工，所有这些都是必需的条件，但是也未必能做到微米精度，你这个双驱更不现实，增加了同步控制难度，最好单驱。

你们这个微米精度是谁提出来的？这么高精度。

ID：丹枫911

系统上要做成全闭环系统，如果只是伺服电机只是半闭环系统，不是真正的全闭环，全闭环必须上伺服电机+光栅尺，结构上用大理石，横梁要轻量化，要双驱。

一般1m长的导轨的平行度也就是可以做到0.01，要达到微米级的精度光靠机械结构是做不到的，所以要用激光干涉仪打精度做补偿。

不知道你的运动方式是怎样的，如果是点对点的话，那就5mm间隔做补偿，最重要的是系统和算法，国产机床为什么比不上德国和日本的，主要原因还是补偿算法做不好，以及系统响应速度慢，高精度的机床都是高速算法+高速响应才能做好补偿的。

ID：hxglty

验证重复性的方法可以使用千分表试试，但是这个也是虚的不是准确的，目前比较好的验证方法就是激光干涉仪验证。

这里要说明一下真要达到微米级重复精度要求的企业必定会上更高的仪器设备做验证。

楼主这个方案精度要求肯定需要用到全闭环反馈尺，要不就是只是提出要求实际未必是这个要求，顺便给楼主介绍一下磁栅尺，重复精度1μm。

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